製品概要

半導体製造工程、電子部品製造工程のなかで、純水の温度を上げ洗浄効果を高めることは既に知られています。本製品は、純水対応シェル型ヒーターとコントロール部で構成されたもので、純水を効率良く最大90℃まで加温する加温ユニットです

■特徴
●シェル本体の流体接触部はSUS304製で特殊表面処理が施されています。
●ヒーターエレメントは、φ12 SUS316L製で特殊表面処理が施され、ワット密度は安全・効率を考えた4W/cm2で設計されています。
●専用コントローラにより高精度な温度コントロールが得られます。また、過昇防止機能を有した安全設計です。
■制御
●ヒーター回路構成
・コントロールヒーター×1回路
・ベースヒーター×2回路
●制御方式
・コントロールヒーター　　PID制御　SSR駆動
・ベースヒーター　　1回路　常時ON　　1回路　ON/OFF切換
■安全装置
●漏電ブレーカー　●温度警報　●過昇防止機能　　　　　　　　　　　（画像：配管フロー図）